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氣體流量控制器

  • 一、 氣體流量控制器產品概述 采用關鍵矽微機械加工技術的 MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優 勢的 MEMS( Microelectromechanicalsystems)氣體質量流量計和流量控 制器,主要應用于輕
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一、 氣體流量控制器產品概述


       采用關鍵矽微機械加工技術的 MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優勢的 MEMS( Microelectromechanicalsystems)氣體質量流量計和流量控制器,主要應用于輕工、化工、環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。該產品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應時間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補償。

二、  氣體流量控制器技術參數


2.1 測量介質:空氣,氮氣,二氧化碳,氬氣,氧氣,氫氣,氦氣
2.2 流量范圍: DN2:20-10000mL/min
DN3:1000-30000mL/min
注:(a)以上流量的測量介質為空氣而言;
(b)以上流量的標準狀態 20℃,101.325kPa。
(c)每個口徑量程范圍均可擴大
(d)特殊需要可聯系廠家單獨標定
2.3 最大允許誤差:±1.5%FS
2.4 精度保證溫度:15-35℃;
2.5 工作壓力范圍:
MFM:工作壓力≦1MPa 耐壓:3MPa
MFC:工作壓差:
≦1L/min:0.05-0.3MPa
1-30L/min:0.1-0.3MPa
耐壓:3MPa
2.6 供電電源:24VDC
2.7 輸入信號:0-5VDC, RS485通訊
2.8 輸出信號:4-20mA,RS485通訊;
2.9 環境溫度:5-45℃;
顯示位數:瞬時流量為 6位,累積流量 8位。

咨詢:氣體流量控制器

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